Forno a Vácuo
Forno de Câmara de Quartzo de Alta Temperatura de 1100°C, 8 Polegadas de DE, com Capacidade de 7,6 Litros e Capacidade de Atmosfera de Vácuo
Número do item: TU-QF01
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Visão Geral do Produto


Este sistema de processamento térmico de alto desempenho representa o auge do tratamento térmico em escala laboratorial, projetado especificamente para fornecer um ambiente controlado para síntese e caracterização de materiais. Em seu núcleo, o equipamento possui uma câmara de quartzo horizontal com um volume substancial de 7,6 litros, permitindo o processamento de grandes amostras ou lotes de alto volume, mantendo os padrões de pureza exigidos para pesquisas em semicondutores e materiais eletrônicos. O design hermeticamente selado garante que os pesquisadores possam obter perfis térmicos altamente estáveis sob condições de pressão variáveis, tornando-o uma ferramenta indispensável para laboratórios focados em precisão e repetibilidade.
Projetado para versatilidade, o sistema atende a uma ampla gama de aplicações industriais e acadêmicas, desde o recozimento de wafers semicondutores até a sinterização de cerâmicas especializadas e a calcinação de materiais avançados para baterias. Sua construção robusta permite que ele prospere em ambientes exigentes de P&D, onde o desempenho consistente é um requisito inegociável. Ao integrar um tubo de quartzo de grande diâmetro com um controle de atmosfera sofisticado, a unidade oferece uma plataforma flexível para desenvolver novos materiais e refinar processos de fabricação complexos nos setores aeroespacial, de energia e eletrônico.
A confiabilidade está incorporada em cada aspecto da engenharia deste equipamento. Desde os elementos de aquecimento enrolados com precisão até os flanges de aço inoxidável de alta integridade, cada componente é selecionado para suportar os rigores do ciclo de alta temperatura. O sistema mantém uma estabilidade térmica excepcional, garantindo que os resultados experimentais sejam consistentes e escaláveis. Os usuários podem operar com total confiança, sabendo que o equipamento foi projetado para proteger a integridade do ciclo térmico e a pureza do ambiente de processamento, mesmo durante operações de longa duração ou ciclos de alto vácuo.
Principais Recursos
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Câmara de Quartzo de Alta Pureza e Ampla Capacidade: A unidade utiliza um tubo de quartzo de grau premium com um diâmetro externo de 8 polegadas e um comprimento otimizado para um volume de processamento de 7,6 litros. Esta câmara transparente permite uma fácil inspeção visual do processo térmico, ao mesmo tempo que oferece excelente resistência química e estabilidade ao choque térmico. O grande diâmetro é especificamente adequado para processamento horizontal de wafers ou tratamento de pó de grande volume, oferecendo uma vantagem de rendimento significativa em relação aos fornos laboratoriais padrão de pequeno diâmetro.
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Controle Térmico de Precisão de Múltiplos Segmentos: Equipado com um controlador PID de nível profissional, o sistema oferece 30 segmentos programáveis para controle preciso sobre as fases de aquecimento, manutenção (soaking) e resfriamento. Isso permite que perfis térmicos complexos sejam executados com uma precisão de +/- 1°C. O recurso de autoajuste (auto-tune) garante que os parâmetros PID sejam perfeitamente combinados com as características de carga específicas, eliminando o excesso de temperatura e garantindo resultados consistentes lote a lote.
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Vedação Hermética para Vácuo e Atmosferas Controladas: O equipamento apresenta um conjunto de flange de aço inoxidável sofisticado que cria uma vedação hermética real. Isso permite a operação sob altos níveis de vácuo (< 5e-2 torr) e atmosferas de gás inerte ou reativo controladas. O design de dupla finalidade torna possível alternar perfeitamente entre recozimento a vácuo e sinterização com atmosfera controlada dentro de uma única configuração, maximizando a eficiência do laboratório e a flexibilidade experimental.
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Arquitetura de Refrigeração a Água Integrada: Para proteger a integridade dos anéis de vedação (O-rings) de silicone e manter uma temperatura externa segura, o forno incorpora um sistema de flange multifuncional refrigerado a água. Este design é crítico para operações que excedem 500°C, garantindo que as vedações de vácuo permaneçam duráveis e eficazes mesmo durante execuções prolongadas na temperatura máxima de operação de 1100°C. As conexões de água de encaixe rápido facilitam a integração rápida e segura com chillers laboratoriais padrão.
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Sistemas Avançados de Segurança e Diagnóstico: A segurança é priorizada através da inclusão de alarmes integrados de sobretemperatura e detecção de falha de termopar. O sistema monitora automaticamente desvios do perfil térmico programado, fornecendo uma resposta imediata para proteger tanto o equipamento quanto as valiosas amostras em seu interior. Esta arquitetura à prova de falhas é essencial para experimentos de longa duração ou operações laboratoriais sem supervisão.
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Elementos de Aquecimento Fe-Cr-Al de Alto Desempenho: O módulo de aquecimento utiliza elementos de fio de liga Fe-Cr-Al de alta densidade, conhecidos por sua longevidade e resistência à oxidação em altas temperaturas. Esses elementos são posicionados estrategicamente para garantir uma uniformidade térmica ideal em toda a câmara de quartzo de 7,6 litros, reduzindo pontos frios e garantindo que cada parte da amostra experimente exatamente o mesmo histórico térmico.
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Conectividade de Dados e Integração com PC: Uma porta de comunicação DB9 padrão está incluída para permitir a conexão perfeita a um PC. Isso permite o registro de dados em tempo real, monitoramento remoto de ciclos térmicos e o arquivamento de parâmetros de processo. Para conformidade industrial e documentação de pesquisa, este recurso garante que cada execução térmica seja totalmente rastreável e reproduzível.
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Eficiência Térmica e Isolamento: O forno utiliza blocos refratários de espuma de Al2O3 avançados como isolantes térmicos. Este material de alta porosidade retém efetivamente o calor dentro da zona de processamento, reduzindo o consumo de energia e evitando que a radiação térmica afete o ambiente externo do laboratório. O isolamento foi projetado para minimizar a massa térmica, permitindo taxas de aquecimento rápidas de até 20°C por minuto, quando necessário.
Aplicações
| Aplicação | Descrição | Principal Benefício |
|---|---|---|
| Recozimento de Wafer Semicondutor | Processamento em alta temperatura de wafers de silício ou semicondutores compostos para reparar danos cristalinos. | A câmara de 8" de DE acomoda grandes wafers com excelente uniformidade e pureza. |
| Metalurgia do Pó & Sinterização | Tratamento térmico de pós metálicos e cerâmicos em vácuo controlado ou ambiente de gás inerte. | Previne a oxidação durante o processo de sinterização, garantindo produtos finais de alta densidade e pureza. |
| Pesquisa em CVD | Deposição Química de Vapor (CVD) de filmes finos e nanomateriais em vários substratos. | O grande volume e o controle preciso da atmosfera permitem experimentos escaláveis de deposição de filmes finos. |
| Materiais Avançados para Baterias | Calcinação e síntese de materiais de cátodo ou ânodo para baterias de íon-lítio e de estado sólido. | Estabilidade térmica excepcional e controle PID garantem desempenho eletroquímico consistente dos materiais. |
| Testes de Componentes Aeroespaciais | Ciclos térmicos e testes de estresse de pequenos componentes aeroespaciais sob condições de vácuo. | Simula ambientes de alta altitude e espaciais com perfis térmicos repetíveis e documentados. |
| Vidro & Optoeletrônica | Fusão, moldagem e recozimento de vidros ópticos e cristais especializados. | A câmara de quartzo fornece um ambiente limpo e livre de contaminantes para materiais de alta transparência. |
| Caracterização de Catalisadores | Ativação e redução em alta temperatura de catalisadores industriais sob fluxo de gás. | Portas de entrada/saída de gás de precisão permitem a dosagem precisa de gases reativos durante o ciclo térmico. |
| Estudos de Transformação de Fase | Investigação do comportamento do material durante transições de aquecimento e resfriamento na metalurgia. | Taxas rápidas de rampa e resfriamento, aliadas à precisão PID, permitem o mapeamento detalhado de diagramas de fase. |
Especificações Técnicas
| Parâmetro | Detalhes da Especificação para TU-QF01 |
|---|---|
| Identificador do Modelo do Produto | TU-QF01 |
| Requisitos de Energia | 208 - 240 VAC, monofásico, 50/60Hz, 20 A |
| Potência Nominal Máxima | 4.0 kVA |
| Temperatura Máx. (< 30 min) | 1100 °C (pressão ambiente) |
| Temp. de Trabalho Contínuo | < 1000 °C (pressão ambiente ou vácuo) |
| Taxa de Aquecimento | Recomendado < 10 °C/min; Máximo < 20 °C/min |
| Dimensões da Câmara de Quartzo | Ø203 mm DE × Ø192 mm DI × 340 mm Comprimento |
| Volume Interno de Processamento | Aproximadamente 7,6 Litros |
| Tipo de Elemento de Aquecimento | Fios de resistência Fe-Cr-Al (módulo ⌀240 * 260 mm) |
| Controlador de Temperatura | PID de 30 segmentos com autoajuste e precisão de +/- 1 ºC |
| Capacidade de Vácuo | < 5e-2 torr (com bomba de vácuo mecânica apropriada) |
| Classificação de Pressão Máx. | < 3 psig (0.2 bar) |
| Sistema de Vedação | Flanges de aço inoxidável refrigeradas a água com anéis de vedação de silicone |
| Portas de Conexão de Gás | Conexão farpada de 8 mm (Entrada/Saída) e KF25 (Vácuo) |
| Requisito de Refrigeração | Chiller de água necessário para operação em T > 500 °C |
| Conformidade & Segurança | Certificação CE; Alarmes integrados de sobretemperatura e termopar |
| Acessórios Padrão | Bloco refratário de espuma de Al2O3 (Ø190 * 50mm); Cabo de alimentação |
Por que escolher o TU-QF01
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Compatibilidade Superior de Materiais: A câmara de quartzo de alta pureza é selecionada especificamente por suas propriedades inertes, tornando o sistema ideal para síntese de materiais sensíveis onde a contaminação por elementos de aquecimento metálicos ou tijolos refratários deve ser estritamente evitada.
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Confiabilidade de Nível Industrial: Construído com foco na longevidade, o sistema utiliza elementos Fe-Cr-Al de alta qualidade e hardware de aço inoxidável, garantindo que o equipamento permaneça um ativo confiável em seu laboratório por anos de operação contínua.
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Gerenciamento Atmosférico Preciso: O design de dupla finalidade para controle de vácuo e atmosfera oferece a flexibilidade necessária para a ciência dos materiais moderna, permitindo que processos complexos de várias etapas sejam realizados em uma única câmara.
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Engenharia com Foco na Segurança: Com sistemas de refrigeração integrados, alarmes de sobretemperatura e certificação CE, este equipamento foi projetado para atender aos mais altos padrões de segurança exigidos por instituições de P&D industrial e acadêmicas.
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Personalização e Suporte Inigualáveis: Nossa equipe de engenharia oferece suporte abrangente para integração de sistemas, incluindo controladores Eurotherm de alta precisão opcionais e barcos de amostra especializados para atender às suas necessidades específicas de pesquisa.
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