Forno de tubo RTP deslizante de 900 ºC com aquecimento rápido por IV e tubo de quartzo de 4 polegadas de diâmetro externo

Forno RTP

Forno de tubo RTP deslizante de 900 ºC com aquecimento rápido por IV e tubo de quartzo de 4 polegadas de diâmetro externo

Número do item: TU-RT26

Taxa Máxima de Aquecimento: 50 °C/s Tamanho do Tubo de Processo: Quartzo de 100 mm D.E. Temperatura Máxima: 900 °C
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Este forno de tubo deslizante de alto desempenho para Processamento Térmico Rápido (RTP) representa um avanço significativo no tratamento térmico em escala laboratorial, projetado especificamente para pesquisadores em ciência dos materiais que necessitam de taxas extremas de aquecimento e resfriamento. Ao utilizar uma matriz sofisticada de lâmpadas de infravermelho (IV) e um mecanismo deslizante com engenharia de precisão, o sistema facilita ciclos térmicos rápidos essenciais para a síntese de materiais bidimensionais modernos, wafers semicondutores e filmes finos avançados. O valor principal deste equipamento reside na sua capacidade de alcançar transições de fase precisas e crescimento cristalino controlado graças à sua excepcional gestão de gradiente térmico.

Projetado para os ambientes de P&D industriais mais exigentes, a unidade é particularmente eficaz para o crescimento de grafeno e nanotubos de carbono (CNTs) por Deposição Química de Vapor (CVD), bem como para a fabricação especializada de células solares de perovskita. Sua versatilidade permite que funcione sob condições de vácuo ou atmosfera controlada, proporcionando uma plataforma flexível para diversos processos de tratamento térmico. A integração de componentes de quartzo de alta pureza e hardware de vácuo em aço inoxidável garante um ambiente de processamento limpo e livre de contaminantes para materiais eletrônicos e ópticos sensíveis.

Confiabilidade e consistência estão na vanguarda da engenharia deste sistema. A carcaça de aço de camada dupla e o sistema de resfriamento a ar ativo são projetados para manter a integridade estrutural e a segurança externa mesmo durante operações em alta temperatura. Cada componente, desde os tubos de luz halógena até os trilhos deslizantes acionados por motor DC, é selecionado por sua durabilidade e desempenho sob estresse térmico cíclico. Isso garante que o equipamento entregue resultados repetíveis ao longo de milhares de horas de operação, proporcionando total confiança às equipes de compras e pesquisadores líderes em seus dados experimentais e na escalabilidade do processo.

Características Principais

  • Aquecimento por lâmpada IV de alta intensidade: O sistema utiliza uma matriz de oito tubos de luz halógena de 1kW para alcançar taxas de aquecimento ultra-rápidas de até 50ºC/s. Isso permite que os pesquisadores atinjam as temperaturas de processo em segundos, minimizando o orçamento térmico e evitando difusão indesejada em camadas semicondutoras sensíveis.
  • Mecanismo deslizante de resfriamento automatizado: Trilhos deslizantes duplos integrados permitem que o corpo do forno se afaste da área da amostra automaticamente após a conclusão do programa. Combinado com ventiladores de resfriamento integrados, isso permite uma taxa de resfriamento rápida superior a 8ºC/s, que é crítica para têmpera de fases ou interrupção instantânea de reações químicas.
  • Controle térmico PID de precisão: O controlador digital avançado suporta 30 segmentos programáveis, permitindo rampas, patamares e perfis de resfriamento complexos. Com precisão de ±1ºC, o sistema garante que cada execução do processo siga estritamente os parâmetros térmicos definidos.
  • Manuseio otimizado de vácuo e gás: Equipado com flanges de vácuo em aço inoxidável e uma válvula de agulha integrada, o sistema suporta níveis de vácuo até 10^-4 torr com uma bomba molecular. O design da flange direita do tipo dobradiça facilita a carga e descarga de amostras, enquanto o vacuômetro digital integrado fornece monitoramento em tempo real das condições da câmara.
  • Construção robusta de camada dupla: O forno possui uma carcaça de aço de camada dupla com canais de resfriamento a ar. Esse design não só protege os componentes internos durante o aquecimento prolongado, mas também garante que a carcaça externa permaneça segura ao toque, cumprindo os padrões modernos de segurança laboratorial.
  • Monitoramento duplo por termopar: A unidade inclui dois termopares tipo K. Um é dedicado ao controlador PID para regulação da temperatura do forno, enquanto o segundo é inserido diretamente na zona da amostra para monitoramento preciso da temperatura real do material durante os ciclos rápidos de aquecimento e resfriamento.
  • Interface para PC expansível: Uma porta de comunicação RS485 integrada e o módulo de controle MTS-02 incluso permitem operação remota e registro de dados via PC. Isso permite que os pesquisadores exportem perfis térmicos para fins de documentação e controle de qualidade.

Aplicações

Aplicação Descrição Benefício Principal
Síntese de Grafeno Processamento CVD em alta temperatura para o crescimento de grafeno de camada única e multicamada em folhas metálicas. Taxas de rampa rápidas facilitam a nucleação controlada e tamanhos de grão grandes.
Síntese de CNT Crescimento controlado de nanotubos de carbono por deposição em fase vapor. Controle preciso de temperatura garante diâmetro uniforme e alta pureza.
Células Solares de Perovskita Recozimento térmico e cristalização de filmes finos de perovskita para pesquisa fotovoltaica. Resfriamento rápido evita a degradação do filme e otimiza a estrutura cristalina.
Recozimento de Wafers Recozimento térmico rápido (RTA) para wafers semicondutores de até 3 polegadas de diâmetro. Minimiza a difusão de dopantes enquanto ativa as espécies implantadas por íons.
Pesquisa de Materiais 2D Processamento de MoS2, WS2 e outros dicalcogenetos de metal de transição. Ciclagem térmica de alta velocidade permite a exploração de fases metaestáveis.
Filmes Finos por CVD Deposição de revestimentos especializados sob vácuo ou fluxos de gás de baixa pressão. Medidor de vazão e flanges de vácuo integrados fornecem uma solução CVD pronta para uso.

Especificações Técnicas

Parâmetro Detalhe da Especificação para TU-RT26
Número do Modelo TU-RT26
Estrutura do Forno Carcaça de aço de camada dupla com resfriamento a ar; trilhos deslizantes automáticos integrados
Temperatura Máxima 900°C (para < 1 hora)
Temperatura de Trabalho Padrão 800ºC (< 120 min); 600ºC (Contínuo)
Taxa de Aquecimento Máx. 50 ºC/s
Taxa de Resfriamento Máx. 8 ºC/s (faixa de 1000 - 600ºC via deslizamento)
Elementos de Aquecimento 8 unidades de tubos de luz halógena de 1Kw (vida útil de 2000 horas; comprimento de aquecimento de 200mm)
Tubo de Processo Quartzo fundido de alta pureza; 100mm D.E x 94mm D.I x 1400mm C
Requisitos de Alimentação AC 208-240V Monofásico, 50/60 Hz; potência total de 9KW
Sistema Deslizante Acionado por motor DC; comprimento do trilho de 1200mm; alcance de deslizamento de 340mm
Velocidade de Deslizamento 0-70 mm/s (Ajustável via botão de controle ou programa automatizado)
Controle de Temperatura Controlador automático PID; 30 segmentos programáveis; precisão de ±1 ºC
Termopares Duplo tipo K (1/4" D.E x 24" C); Monitoramento de controle e de amostra
Sistema de Vácuo Flanges em Aço Inoxidável; flange direita do tipo dobradiça; válvula angular KF25
Nível de Vácuo 10^-2 torr (Bomba mecânica); 10^-4 torr (Bomba molecular)
Gestão de Gás Medidor de vazão integrado (16-160 ml/min); conexões de gás com válvula de agulha
Comunicações Porta RS485; módulo de controle MTS-02 incluso
Conformidade Certificado CE; NRTL (UL61010) ou CSA disponíveis sob consulta

Por Que Escolher Nós

  • Agilidade térmica superior: Ao contrário dos fornos de tubo tradicionais, a tecnologia de aquecimento por IV e o resfriamento deslizante automatizado desta unidade permitem gradientes térmicos incomparáveis, encurtando significativamente os ciclos de processo e possibilitando a síntese avançada de materiais.
  • Confiabilidade de grau industrial: Construído com componentes premium, incluindo quartzo de alta pureza e trilhos de aço cromado, este sistema é projetado para ciclos de trabalho intensos em ambientes de pesquisa e produção movimentados.
  • Engenharia de precisão: Todos os aspectos do design, desde as flanges de vácuo do tipo dobradiça até o monitoramento duplo por termopar, são otimizados para facilidade de uso sem comprometer o desempenho técnico.
  • Integração pronta para uso: Com vacuômetros, medidores de vazão e módulos de controle para PC integrados, o sistema chega pronto para implantação imediata em aplicações de CVD e RTA.
  • Conformidade global e suporte: A certificação CE garante o cumprimento dos padrões internacionais de segurança, apoiado pela nossa equipe técnica responsiva para personalização e suporte de manutenção a longo prazo.

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