Forno Tubular de Três Zonas de 1200°C, 6 Polegadas de DE Máx. com Tubo e Flange

Visão Geral do Produto

Este sistema de processamento térmico de alto desempenho foi projetado para atender às exigências rigorosas da pesquisa em ciência dos materiais e da produção industrial. Com uma configuração de aquecimento de três zonas e uma generosa capacidade de 150 mm (6") de diâmetro externo, o equipamento oferece uma plataforma versátil para o processamento de amostras em larga escala, incluindo o recozimento de wafers de 4 polegadas. Ao utilizar três zonas de aquecimento controladas independentemente, os usuários podem obter uma uniformidade de temperatura excepcional ou criar gradientes térmicos precisos, tornando esta unidade uma ferramenta indispensável para ciclos complexos de tratamento térmico que exigem controle atmosférico rigoroso e estabilidade térmica.

O sistema foi projetado para uma ampla gama de aplicações nos setores de semicondutores, aeroespacial e cerâmicas avançadas. Seja para deposição química de vapor (CVD), sinterização de materiais de alta pureza ou oxidação controlada de componentes metálicos, o equipamento oferece resultados repetíveis e confiáveis. Sua construção robusta e interface de controle sofisticada permitem uma integração perfeita em laboratórios de P&D e linhas de produção piloto, onde a precisão e a escalabilidade são fundamentais para o desenvolvimento da próxima geração de materiais de alta temperatura.

Construído com foco na confiabilidade operacional a longo prazo, este forno utiliza isolamento de qualidade premium e gerenciamento de energia avançado para manter um desempenho consistente sob condições exigentes. A integração de isolamento fibroso de alumina de alta pureza garante eficiência térmica enquanto minimiza a perda de calor, resultando em um sistema que é energeticamente eficiente e altamente responsivo aos ajustes de temperatura. Gerentes de laboratório e equipes de compras podem confiar neste equipamento para fornecer um ambiente térmico estável, garantindo que experimentos críticos e lotes de produção estejam protegidos contra flutuações térmicas e contaminação.

Principais Características

• Controle Independente de Três Zonas: O sistema possui três zonas de aquecimento distintas que permitem a criação de uma área de temperatura uniforme estendida ou um gradiente térmico personalizado. Esta configuração é essencial para processos que exigem perfis de temperatura específicos ao longo do comprimento do tubo de processamento, como crescimento de cristais ou recozimento de grandes lotes.
• Interface de Tela Sensível ao Toque Avançada: Um painel sensível ao toque de alta resolução de 7 polegadas fornece um hub de controle intuitivo para todo o sistema. Os usuários podem se beneficiar da funcionalidade de início/parada com um clique, monitoramento de dados em tempo real e a capacidade de pré-armazenar vários programas de temperatura complexos, reduzindo significativamente o potencial de erros de configuração manual.
• Regulação de Temperatura PID de Precisão: Equipado com um controlador PID sofisticado e funções de autoajuste, a unidade mantém uma precisão de temperatura de +/- 0,2 °C. Este nível de precisão é crítico para o processamento de materiais sensíveis, onde até mesmo pequenos desvios podem afetar a integridade estrutural ou as propriedades elétricas da amostra.
• Isolamento Fibroso de Al2O3 de Alta Pureza: A câmara do forno é revestida com isolamento fibroso de alumina de alta pureza que economiza energia, aprimorado ainda mais por um revestimento de óxido de alumínio. Esta combinação não apenas estende a vida útil dos elementos de aquecimento, mas também garante taxas de aquecimento rápidas e contenção térmica superior.
• Capacidade de Processamento de Grande Diâmetro: Projetado para acomodar tubos de quartzo de até 150 mm (6") de diâmetro, este sistema é ideal para o processamento de wafers de 4 polegadas e amostras de materiais a granel maiores. A flexibilidade de usar vários diâmetros de tubo (80 mm a 150 mm) via adaptadores torna-o um ativo altamente adaptável para necessidades de pesquisa em evolução.
• Registro de Dados Abrangente: O sistema de controle integrado registra automaticamente os dados do processo, armazenando o histórico por até um mês. Este recurso facilita a análise pós-processo completa e a documentação de controle de qualidade, o que é vital para certificações industriais e reprodutibilidade de pesquisa.
• Vedação Robusta de Vácuo e Atmosfera: Flanges de vedação de aço inoxidável de alta qualidade estão disponíveis para suportar o processamento sob vácuo ou ambientes de gás controlado. Isso permite que o equipamento lide com diversas químicas e evite a oxidação durante ciclos de alta temperatura.
• Engenharia com Foco na Segurança: Mecanismos de proteção integrados contra superaquecimento e falha de termopares são padrão, proporcionando tranquilidade durante execuções de longa duração. O design do sistema enfatiza a operação segura com protocolos específicos para gerenciamento de pressão e regulação de fluxo de gás.
• Desempenho de Isolamento de Tubo Sólido: O design de isolamento de tubo sólido fornece uma zona de temperatura mais uniforme em comparação com os designs padrão de tubo dividido, garantindo que o calor radiante seja distribuído uniformemente ao redor de toda a circunferência do tubo de processamento.
• Flexibilidade de Segmentos Programáveis: Com 50 segmentos programáveis, o sistema suporta rampas de aquecimento e resfriamento altamente complexas. Isso permite a simulação precisa de ciclos térmicos industriais e a capacidade de realizar resfriamento lento e controlado para evitar choque térmico em materiais frágeis.

Aplicações

Especificações Técnicas

Por que escolher o TU-37

• Precisão Térmica Inigualável: A série TU-37 aproveita uma arquitetura sofisticada de 3 zonas que elimina a queda térmica típica de sistemas de zona única, fornecendo uma zona uniforme massiva de 420 mm para processos industriais críticos.
• Qualidade de Construção de Grau Industrial: Desde o isolamento fibroso de Al2O3 de alta pureza até as flanges de aço inoxidável de alta resistência, cada componente do sistema é selecionado por sua capacidade de suportar operação contínua em ambientes exigentes de P&D.
• Capacidade de Processamento Escalável: A capacidade única de acomodar tubos de 6 polegadas (150 mm) permite que os pesquisadores façam a transição suave de testes em pequena escala para a produção de wafers de 4 polegadas sem alterar as plataformas de equipamento.
• Controle Digital Centrado no Usuário: A interface de tela sensível ao toque e o registro automático de dados reduzem a curva de aprendizado operacional, garantindo que todos os parâmetros do processo sejam meticulosamente documentados para conformidade e garantia de qualidade.
• Versatilidade Atmosférica Flexível: Se o seu processo requer alto vácuo, fluxo de gás inerte ou gerenciamento de pressão específico, as opções adaptáveis de flange e bombeamento do sistema fornecem uma solução preparada para o futuro para diversos caminhos de pesquisa.

Nossa equipe de engenharia está pronta para ajudá-lo a configurar a solução de processamento térmico perfeita para suas necessidades específicas. Entre em contato conosco hoje para uma consulta técnica ou um orçamento formal sobre o sistema TU-37.