Forno Tubular de Quatro Zonas 1100°C com Tubo de Quartzo de Grande Diâmetro 600mm e Flanges de Vácuo

Forno de Tubo

Forno Tubular de Quatro Zonas 1100°C com Tubo de Quartzo de Grande Diâmetro 600mm e Flanges de Vácuo

Número do item: TU-47

Zonas de Temperatura: Quatro Zonas de Aquecimento Independentes (1200mm no total) Diâmetro do Tubo de Quartzo: 600 mm (24") DE Temperatura Máxima de Trabalho: 1100°C Contínua / 1150°C Máxima
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Este forno tubular de quatro zonas de alto desempenho representa o auge da engenharia de processamento térmico, projetado especificamente para acomodar amostras de materiais em grande escala e wafers de 8 polegadas. Utilizando um tubo de quartzo de alta pureza com diâmetro massivo de 600 mm (24"), o sistema proporciona um ambiente expansivo para tratamentos térmicos especializados que exigem tanto volume quanto precisão. O valor central deste equipamento reside em sua configuração multizona, que permite um controle intrincado sobre gradientes térmicos, tornando-o uma ferramenta indispensável para processos avançados de deposição química de vapor (CVD), recozimento e sinterização, onde a uniformidade é primordial.

Direcionado a centros de P&D industriais e laboratórios de ciência dos materiais, este equipamento se destaca no manuseio de diversas condições atmosféricas. Seja operando sob alto vácuo ou em ambientes específicos de gás de proteção, o sistema mantém sua integridade por meio de uma engenharia robusta. O invólucro de aço de dupla camada com resfriamento a ar integrado garante que, enquanto a câmara interna atinge altas temperaturas, a superfície externa permaneça segura para os operadores, facilitando um ambiente laboratorial produtivo e seguro. Esta unidade é otimizada para a síntese de novos materiais, oferecendo aos pesquisadores a flexibilidade para simular condições complexas de manufatura industrial em escala de bancada ou piloto.

A confiabilidade está na vanguarda deste design, que apresenta um revestimento isolante de alumina fibrosa refratária que maximiza a eficiência energética e a estabilidade térmica. O sistema é construído para suportar ciclos de trabalho industriais exigentes, fornecendo desempenho consistente ao longo de milhares de horas de operação. Com sua capacidade de lidar com a ordenação estrutural e grafitização de materiais de carbono avançados, o equipamento serve como uma base confiável para projetos envolvendo desenvolvimento de catalisadores, pesquisa de semicondutores e testes metalúrgicos. Este sistema não é meramente um forno, mas uma solução térmica abrangente para inovação de materiais de alto risco.

Características Principais

  • Gerenciamento de Temperatura Independente de Quatro Zonas: O sistema possui quatro zonas de aquecimento distintas, cada uma com 300 mm de comprimento, proporcionando um comprimento total aquecido de 1200 mm. Esta configuração permite a criação de gradientes térmicos precisos ou uma zona de temperatura constante excepcionalmente longa de até 1100 mm, garantindo flexibilidade de processamento incomparável para substratos longos ou lotes de alto volume.
  • Tubo de Processamento de Quartzo de Diâmetro Extra-Largo: Equipado com um tubo de quartzo de alta pureza de 600 mm (24") de diâmetro externo, esta unidade é projetada especificamente para processar materiais de grande formato, como wafers de 8 polegadas. O material de quartzo oferece excelente resistência ao choque térmico e inércia química, mantendo um ambiente livre de contaminação para sinterização e recozimento de alta pureza.
  • Controle PID de Microprocessador de Precisão: Cada zona é governada por um controlador digital dedicado com ciclos programáveis de 30 segmentos e funções de autoajuste. A lógica PID baseada em microprocessador evita o sobressinal de temperatura e mantém uma precisão de estado estacionário de ±1°C, o que é crítico para transformações de materiais sensíveis e resultados repetíveis.
  • Vedação a Vácuo Multiestágio Avançada: O sistema inclui um par de flanges articulados de aço inoxidável resfriados a água, projetados para acesso rápido e vedação superior. Utilizando juntas tóricas de silicone e portas KF40 integradas, o forno pode atingir níveis de vácuo tão baixos quanto 10-5 torr quando acoplado a bombas turbomoleculares secundárias, facilitando condições de processamento ultra-limpas.
  • Elementos de Aquecimento de Grau Industrial: Utilizando elementos de aquecimento de fio de resistência NiCrAl de alta qualidade, o forno atinge uma temperatura máxima de aquecimento de 1150°C. Estes elementos são escolhidos por sua durabilidade e liberação de calor consistente, garantindo confiabilidade a longo prazo mesmo quando submetidos a ciclos térmicos frequentes.
  • Sistemas Integrados de Segurança e Resfriamento: O invólucro de aço de dupla camada é projetado com resfriamento a ar interno para manter a temperatura da superfície externa abaixo de 70°C. Este design protege o pessoal do laboratório e evita o acúmulo de calor ambiente, enquanto a inclusão de um resfriador de água de recirculação para os flanges protege as vedações durante operações em alta temperatura.
  • Monitoramento e Calibração Abrangentes: A unidade está equipada com quatro termopares tipo K para monitoramento em tempo real de cada zona. Os flanges incluem portas especializadas para termopares de calibração secundária, permitindo que os usuários verifiquem as temperaturas internas e garantam os mais altos padrões de validação de processo e controle de qualidade.
  • Isolamento Refratário de Alta Eficiência: Revestimentos isolantes de alumina fibrosa de alta qualidade minimizam a perda de calor e o consumo de energia. Este design energeticamente eficiente, combinado com blocos de tubo cerâmico, contém efetivamente a radiação, focando a energia térmica na zona de processamento em vez do ambiente circundante.

Aplicações

Aplicação Descrição Benefício Principal
Recozimento de Wafers de Semicondutor Tratamento térmico pós-deposição de wafers de silício ou semicondutores compostos de 8 polegadas. Melhora a estrutura cristalina e as propriedades elétricas com alta uniformidade.
Processos CVD em Larga Escala Deposição Química de Vapor de filmes finos ou nanomateriais em grandes áreas de superfície. Controle preciso sobre a dinâmica dos gases e gradientes de temperatura para revestimentos de alta pureza.
Grafitização de Carbono Tratamento térmico de carbono dopado com nitrogênio a 1100°C para melhorar a condutividade elétrica. Otimiza a estabilidade de clusters Co-N e o desempenho do catalisador para aplicações em células de combustível.
Sinterização Multizona Tratamento térmico de amostras cerâmicas ou metálicas que requerem rampas específicas de aquecimento e resfriamento. Previne trincas e defeitos estruturais através da distribuição térmica controlada.
Pesquisa Atmosférica Tratamento térmico sob gases inertes ou reativos controlados (N2, Ar, H2) com controle de fluxo. Permite a simulação de ambientes químicos industriais complexos em um ambiente laboratorial.
Metalurgia do Pó Sinterização a vácuo de pós de ligas avançadas para obter alta densidade e pureza. Remove óxidos e previne contaminação durante o processo de consolidação.
Estudos de Envelhecimento de Materiais Teste de alta temperatura sustentada de componentes industriais para avaliar fadiga térmica. Fornece estabilidade térmica consistente e de longo prazo para dados confiáveis de degradação.

Especificações Técnicas

Característica Detalhes da Especificação (Modelo TU-47)
Comprimento da Zona de Aquecimento Total 1200 mm (4 Zonas x 300 mm por zona)
Zona de Temperatura Constante 1000 mm (±3°C) ou 1100 mm (±5°C) na direção longitudinal
Temperatura Máxima 1150°C (< 1 hora)
Temperatura de Trabalho Contínua 200°C a 1100°C
Taxa de Aquecimento/Resfriamento ≤ 5°C/min
Precisão da Temperatura ± 1°C
Uniformidade da Temperatura ± 3°C ao longo da seção transversal
Dimensões do Tubo de Quartzo DE 600 mm x DI 590 mm x C 1500 mm (Diâmetro de 24")
Estrutura do Forno Invólucro de aço de dupla camada com resfriamento a ar; Superfície < 70°C
Revestimento Isolante Isolamento refratário de alumina fibrosa
Elemento de Aquecimento Fio de Resistência NiCrAl
Controladores Quatro controladores PID digitais, programáveis de 30 segmentos
Tipo de Termopar Quatro termopares tipo K (um por zona)
Nível de Vácuo 10-2 torr (bomba mecânica); até 10-5 torr (turbobomba)
Tipo de Flange Flanges articulados de aço inoxidável (SS) resfriados a água com portas KF40 e 1/4"
Requisito de Resfriador Resfriador de água de recirculação de 16L/min incluído
Consumo de Energia ~50 KW
Tensão Nominal Trifásica, 220V CA, 50/60 Hz
Conformidade Certificado CE (NRTL/CSA disponível sob consulta)
Limitação de Fluxo de Gás < 200 SCCM para reduzir o choque térmico
Limite de Pressão < 0,2 bar / 3 psi

Por Que Escolher-nos

  • Uniformidade Térmica Superior: A arquitetura de quatro zonas proporciona uma zona de temperatura constante excepcionalmente grande, tornando esta unidade a escolha principal para substratos de grande formato e processamento a granel onde a consistência térmica determina a qualidade do produto.
  • Construção Industrial Robusta: Projetado com aço pesado, flanges de aço inoxidável resfriados a água e isolamento de alumina de alta eficiência, este sistema é concebido para os rigores de ambientes contínuos de P&D e produção piloto.
  • Integridade de Vácuo Excepcional: O design do flange articulado combinado com compatibilidade com turbobombas de alta velocidade garante que os pesquisadores possam alcançar e manter as atmosferas ultra-limpas necessárias para a deposição química de vapor de alta pureza.
  • Engenharia de Precisão e Suporte: Cada sistema é calibrado de acordo com padrões rigorosos e suportado por uma série de acessórios disponíveis, incluindo sistemas de entrega de gás, detectores de vazamento de hidrogênio e kits de calibração para garantir a precisão operacional de longo prazo.
  • Processamento de Alta Capacidade Personalizável: Com seu diâmetro de tubo único de 600mm, este forno preenche a lacuna entre as unidades laboratoriais padrão e os fornos de produção industrial, oferecendo uma solução de nível profissional para escalar a pesquisa de materiais avançados.

Nossa equipe técnica está pronta para ajudá-lo a configurar a solução térmica ideal para seus requisitos específicos de processamento. Entre em contato conosco hoje para uma consulta técnica ou uma cotação formal.

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