Forno RTP
Forno Tubular Deslizante de Zona de Temperatura Dupla de 1200°C para Crescimento de Materiais 2D e Síntese TCVD
Número do item: TU-RT10
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Visão Geral do Produto

Este sistema de forno duplo de alto desempenho foi projetado especificamente para a síntese de materiais 2D avançados e deposição complexa de filmes finos. Ao integrar duas unidades de forno independentes em um único tubo de processamento de 80 mm, o equipamento permite a criação de gradientes de temperatura precisos e ambientes térmicos distintos para sublimação e deposição. Um forno é projetado como uma unidade estacionária, enquanto o outro possui um mecanismo deslizante de alta velocidade, permitindo que pesquisadores e engenheiros industriais movam amostras entre zonas de alta temperatura e condições ambientes com velocidade e repetibilidade excepcionais.
O sistema é ideal para processos de Deposição Química de Vapor Térmica (TCVD), particularmente na produção de monocamadas de Dicalcogenetos de Metais de Transição (TMDC) 2D e microcristais de perovskita avançados. Ao separar a zona de evaporação do precursor da zona de crescimento, este equipamento oferece um controle inigualável sobre a pressão de vapor e as razões estequiométricas. A versatilidade da configuração de zona dupla torna-o uma ferramenta essencial para laboratórios de ciência dos materiais e instalações de P&D de alta tecnologia focadas em grafeno, nanotubos de carbono e filmes finos semicondutores.
Projetado para uso industrial exigente, o equipamento prioriza a integridade estrutural e a estabilidade térmica. A combinação de quartzo fundido de alta pureza, elementos de aquecimento projetados com precisão e um sistema robusto de trilho deslizante linear garante que cada ciclo seja consistente e confiável. Esta unidade oferece a durabilidade necessária para operação contínua sob vácuo ou condições de atmosfera controlada, proporcionando às equipes de compras e líderes de pesquisa total confiança em seu investimento de capital a longo prazo.
Principais Características
- Controle Independente de Zona Dupla: Este sistema utiliza duas unidades de aquecimento separadas, cada uma equipada com seu próprio controlador de temperatura PID dedicado, permitindo temperaturas distintas de sublimação e deposição sem interferência térmica.
- Processamento Térmico Rápido via Mecanismo Deslizante: O forno do lado direito é montado em um sistema de trilho deslizante linear duplo, permitindo que ele se afaste da zona de crescimento para atingir taxas de resfriamento ultrarrápidas de aproximadamente 100°C/min, cruciais para fases de têmpera e preservação da morfologia do material.
- Movimento Linear de Precisão: O forno deslizante é acionado por um motor elétrico de 200W com controles manuais de velocidade e direção, suportado por trilhos de aço cromado para um movimento suave e sem vibrações durante estágios críticos de crescimento.
- Forno Estacionário Avançado de Múltiplas Zonas: A unidade estacionária do lado esquerdo apresenta uma configuração de três zonas (152,4 mm cada), proporcionando uma zona de temperatura constante estendida e permitindo o ajuste fino do perfil térmico em toda a fonte do precursor.
- Ambiente de Processamento em Quartzo de Alta Pureza: O tubo de quartzo fundido com 80 mm de diâmetro fornece um ambiente limpo e quimicamente inerte para reações sensíveis, suportando taxas de fluxo de até 1000 sccm e pressões de até 0,4 bar.
- Regulação Térmica Sofisticada: Equipado com controladores FA-YD518P-AG, o sistema oferece 30 segmentos programáveis para rampa, patamar e resfriamento, com funções de autoajuste integradas para manter a precisão de ±1°C.
- Tecnologia de Aquecimento Durável: Elementos de aquecimento de liga Fe-Cr-Al de alta qualidade, dopados com molibdênio, oferecem uma temperatura máxima de trabalho de 1200°C e excelente resistência à oxidação para uma vida útil prolongada.
- Capacidades de Integração de Vácuo: Flanges de vácuo de aço inoxidável com medidores integrados são padrão, permitindo que o sistema atinja níveis de vácuo tão baixos quanto 10E-5 torr quando acoplado a uma bomba molecular.
- Monitoramento de Segurança Abrangente: O sistema inclui alarmes integrados de sobretemperatura e falha de termopares, garantindo a segurança do equipamento e do operador durante ciclos de alta temperatura.
Aplicações
| Aplicação | Descrição | Principal Benefício |
|---|---|---|
| Crescimento de Monocamada TMDC | Síntese de MoS2, WS2 e outros Dicalcogenetos de Metais de Transição. | Controle preciso das temperaturas de sublimação vs. deposição para monocamadas de alta qualidade. |
| Síntese de Perovskita | Deposição de vapor de CsPbBr3 e outras perovskitas de haleto. | O controle independente de zona mantém razões estequiométricas ideais através do gerenciamento da pressão de vapor. |
| Fabricação de Grafeno | TCVD de alta temperatura em catalisadores metálicos usando precursores de carbono. | O forno deslizante permite têmpera rápida para controlar o tamanho do grão e as camadas. |
| CVD de Nanotubos de Carbono (CNT) | Crescimento mediado por catalisador de nanotubos de parede simples ou múltipla. | O fornecimento de gás de alto fluxo e zonas de temperatura consistentes garantem alinhamento uniforme. |
| Epitaxia em Fase de Vapor | Crescimento controlado de filmes finos em substratos cristalinos. | Interferência térmica mínima entre precursores e substrato de crescimento. |
| Dopagem de Semicondutores | Difusão de dopantes em wafers semicondutores sob atmosferas controladas. | O controle PID de precisão garante perfis de dopagem repetíveis em vários lotes. |
| Síntese de Nanofios | Crescimento Vapor-Líquido-Sólido (VLS) de nanofios semicondutores e de óxido. | O resfriamento rápido evita crescimento secundário indesejado ou transformações de fase. |
Especificações Técnicas
| Categoria | Especificação | Valor do Parâmetro (TU-RT10) |
|---|---|---|
| Referência do Modelo | Sistema TU-RT10 | Configuração Deslizante de Forno Duplo |
| Forno Deslizante (Direito) | Modelo do Forno | OTF-1200X de zona única |
| Distância de Deslizamento | 300 mm | |
| Zona de Aquecimento Total | 440 mm | |
| Zona de Temp. Constante | 150 mm (±1 °C) | |
| Temperatura Máxima | 1200 °C (<1 hora); 1100 °C (Contínuo) | |
| Forno Estacionário (Esquerdo) | Modelo do Forno | OTF-1200X-III-C de três zonas |
| Comprimentos da Zona de Aquecimento | 152,4 mm + 152,4 mm + 152,4 mm (Total 450 mm) | |
| Zona de Temp. Constante | 200 mm (±1 °C) | |
| Temperatura Máxima | 1200 °C (<1 hora); 1100 °C (Contínuo) | |
| Tubo de Processamento | Material | Quartzo fundido de alta pureza |
| Dimensões | 80 mm D.E x 72 mm D.I x 1800 mm Comprimento | |
| Pressão Máxima | 0,4 bar (5,8 psi) | |
| Taxa de Fluxo Máxima | 1000 sccm | |
| Elementos de Aquecimento | Tipo | Liga Fe-Cr-Al dopada com Mo |
| Controle de Temperatura | Precisão | ±1 ºC (Eurotherm opcional ±0,1°C) |
| Programabilidade | 30 segmentos (Rampa, Resfriamento, Patamar) | |
| Termopar | Tipo-K (Quatro incluídos) | |
| Mecanismo Deslizante | Trilhos | Trilhos Deslizantes Lineares Duplos (Aço cromado) |
| Motor | 208 – 240 VAC Monofásico, 200 W | |
| Requisitos de Energia | Forno Deslizante | AC 208-240V Monofásico, 3 kW |
| Forno Estacionário | AC 208-240V Monofásico, 4 kW | |
| Vácuo e Gás | Flanges de Vácuo | Aço inoxidável com medidor de vácuo |
| Vácuo Máximo | 10E-5 torr (com bomba molecular) | |
| Conformidade | Padrões | Certificação CE (NRTL/CSA disponível) |
Por que escolher o TU-RT10
- Flexibilidade Térmica Superior: A combinação única de um forno estacionário de três zonas e um forno deslizante de zona única fornece a plataforma mais versátil para processos CVD complexos disponível no mercado.
- Confiabilidade Comprovada: Construído com elementos de aquecimento de liga premium e um sistema mecânico deslizante robusto, este equipamento foi projetado para longevidade e desempenho consistente em ambientes intensivos de P&D.
- Engenharia de Precisão: Com precisão de temperatura mantida dentro de ±1°C e componentes de movimento linear de alto grau, os usuários podem obter resultados altamente repetíveis para síntese de materiais sensíveis.
- Escalável e Personalizável: O design modular permite atualizações para controladores Eurotherm para precisão ainda maior e integração com sistemas de fornecimento de gás multicanal para atender às necessidades específicas de pesquisa.
- Conformidade Abrangente: Nossos sistemas possuem certificação CE e são construídos de acordo com os padrões internacionais de segurança, garantindo fácil integração em qualquer laboratório profissional ou instalação industrial.
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