Forno RTP
Forno de Tubo com Cadinho Interno Deslizante 1200°C para Deposição de Filmes Finos em Atmosfera Controlada e Pesquisa de Sublimação de Materiais
Número do item: TU-RT15
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Visão Geral do Produto



Este sistema de processamento térmico de alto desempenho é projetado para aplicações avançadas em ciência dos materiais que exigem movimento preciso da amostra dentro de uma atmosfera controlada. Ao integrar um sofisticado mecanismo de deslizamento interno, o equipamento permite que os pesquisadores transfiram amostras ou fontes de sublimação através de gradientes de temperatura específicos sem quebrar o vácuo ou o selo da atmosfera. Essa capacidade é fundamental para obter resultados de alta qualidade em Deposição Física a Vapor (PVD) e Deposição a Vapor Dupla (DVD), onde a relação entre temperatura e posição é crítica para a morfologia e as taxas de crescimento do filme.
Projetado para ambientes rigorosos de P&D industrial, a unidade facilita ciclos complexos de tratamento térmico que exigem estabilidade em alta temperatura e versatilidade mecânica. O sistema serve como uma peça fundamental para laboratórios focados no desenvolvimento de semicondutores, nanotecnologia e estudos de fase metalúrgica. Sua construção robusta garante que experimentos sensíveis possam ser conduzidos sob vácuo ou condições de gás inerte com precisão repetível, fornecendo a confiabilidade necessária para protocolos experimentais de longa duração.
Construído com componentes térmicos premium e foco na segurança do usuário, o equipamento oferece desempenho consistente mesmo sob operação contínua exigente. A fusão do controle PID avançado e de um sistema de posicionamento por acionamento magnético permite a manipulação não invasiva do cadinho interno, garantindo que a integridade do ambiente interno nunca seja comprometida. Esta unidade representa um salto significativo na flexibilidade do processamento térmico, oferecendo uma solução consolidada para evaporação, deposição e perfilamento térmico preciso.
Principais Características
- Mecanismo de Deslizamento Magnético Integrado: Este sistema utiliza um único sistema de acionamento por ímã duplo onde um ímã externo controla um bloco magnético interno, permitindo que o porta-amostras seja movido com precisão ao longo do comprimento do tubo de quartzo. Este design permite que o usuário encontre a posição de temperatura ideal para evaporação ou deposição sem intervenção manual ou perda de vácuo.
- Monitoramento Avançado Certificado NIST: Cada unidade é equipada com um monitor de temperatura de precisão certificado pelo NIST conectado diretamente ao porta-amostras através de uma passagem de alto vácuo. Isso garante que a temperatura relatada seja a temperatura real no local da amostra, não apenas a ambiente do forno, proporcionando precisão de dados incomparável para o crescimento crítico de filmes finos.
- Controle de Temperatura PID de Precisão: O equipamento possui um controlador programável de 30 segmentos que utiliza lógica proporcional-integral-derivativa para manter uma precisão de temperatura de ±1°C. Este alto nível de controle é essencial para gerenciar as taxas de rampa e os tempos de imersão necessários na síntese delicada de materiais.
- Elementos de Aquecimento de Alto Desempenho: O forno utiliza elementos de aquecimento de liga Fe-Cr-Al dopados com Molibdênio (Mo). Esta composição metalúrgica específica oferece resistência superior à oxidação e fadiga térmica, garantindo uma longa vida útil e capacidades de aquecimento rápido de até 1200°C.
- Controle Versátil de Atmosfera e Vácuo: Equipado com portas de vácuo KF25 e conexões de mangueira de 1/4", o sistema pode atingir níveis de vácuo de até 10-2 Torr com uma bomba mecânica. Isso permite o processamento sob gases inertes ou pressões de vácuo específicas, o que é vital para prevenir a oxidação durante ciclos de alta temperatura.
- Isolamento Térmico Especializado: O forno de tubo incorpora dois blocos de tubo cerâmico fibroso que bloqueiam efetivamente a radiação de calor das extremidades da câmara. Esta escolha de engenharia protege os flanges de vácuo e garante uma zona de temperatura constante estável e uniforme no centro do tubo.
- Componentes de Quartzo Robusto: O sistema inclui tubos e cadinhos de quartzo de alta pureza que oferecem excelente resistência ao choque térmico e pureza química, garantindo que nenhum contaminante seja introduzido na amostra durante o processamento em temperaturas de até 1200°C.
- Sistemas de Segurança Abrangentes: Módulos de proteção embutidos para condições de sobretemperatura e falha de termopar são padrão. Esses recursos previnem danos ao equipamento e garantem a segurança do laboratório, cortando automaticamente a energia se os parâmetros desviarem do envelope de segurança programado.
Aplicações
| Aplicação | Descrição | Benefício Principal |
|---|---|---|
| Deposição Física a Vapor (PVD) | Sublimação controlada de materiais sobre um substrato dentro de um ambiente de vácuo. | O posicionamento preciso do material fonte em relação à zona de calor garante pressão de vapor uniforme. |
| Dopagem de Semicondutores | Difusão de dopantes em wafers de silício em altas temperaturas sob fluxo de gás controlado. | O controle PID de alta precisão mantém uma distribuição uniforme de dopantes na superfície do wafer. |
| Estudos de Sublimação de Materiais | Análise da mudança de fase de ligas e compostos especializados à medida que transitam para o estado gasoso. | O monitoramento em tempo real da temperatura da amostra via passagem certificada NIST fornece dados empíricos. |
| Crescimento de Filmes Finos (DVD) | Uso do mecanismo de deslizamento interno para gerenciar protocolos de deposição a vapor de fonte dupla. | Permite a criação de filmes finos multicamadas ou com gradiente movendo o substrato através do campo térmico. |
| Recozimento de Cerâmicas Avançadas | Alívio de tensão em alta temperatura e refinamento da estrutura de grãos de componentes cerâmicos. | O controlador programável de 30 segmentos permite curvas de resfriamento complexas para evitar rachaduras. |
| Síntese de Catalisadores | Tratamento térmico de pós catalíticos sob atmosferas inertes ou redutoras. | Flanges herméticos e portas de entrega de gás permitem controle preciso sobre o ambiente químico. |
| Pesquisa de Fase Metalúrgica | Estudo dos pontos de transição de metais durante têmpera rápida ou resfriamento controlado. | A capacidade de mover a amostra rapidamente para fora da zona quente facilita experimentos de têmpera. |
Especificações Técnicas
| Parâmetro | Detalhes da Especificação para TU-RT15 |
|---|---|
| Número do Modelo | TU-RT15 |
| Temperatura Máxima | 1200°C (< 1 hora) |
| Temperatura de Trabalho Contínua | 1100°C |
| Comprimento da Zona de Aquecimento | 8" (200mm) zona única |
| Zona de Temperatura Constante | 2.3" (60mm) [±1°C @ 1000°C] |
| Precisão da Temperatura | ±1°C |
| Taxa de Aquecimento | ≤ 20°C / minuto |
| Elementos de Aquecimento | Liga Fe-Cr-Al dopada com Mo |
| Controlador de Temperatura | Controle automático PID, programável de 30 etapas, monitor certificado NIST |
| Dimensões do Tubo | 50mm DE x 44mm DI x 1000mm C (Quartzo) |
| Nível de Vácuo | 10-2 Torr (com bomba mecânica) |
| Flanges de Vácuo | Flange de 2" com porta KF25 e conexões de mangueira de 1/4" |
| Porta-Amostras | Porta-amostras plano de alumina (2" C x 1" L) com termopar tipo K |
| Tensão de Entrada | 110VCA ou 208-240VCA, 50/60Hz |
| Potência Total | 1.5 KW |
| Conformidade | Certificado CE (NRTL/CSA opcional) |
Por Que Nos Escolher
- Projetado para Deposição de Precisão: O mecanismo de deslizamento magnético é uma ferramenta especializada que elimina as suposições na pesquisa de filmes finos, permitindo a replicação exata de ambientes térmicos em múltiplas execuções experimentais.
- Qualidade de Construção Inabalável: Cada componente, desde os elementos de aquecimento dopados com Mo até os porta-amostras de alumina de alta pureza, é selecionado por sua capacidade de suportar os rigores da pesquisa industrial sem degradação.
- Integridade de Dados Verificada: Com monitoramento certificado NIST incluído como padrão, este sistema fornece a precisão de dados rastreável necessária para pesquisas revisadas por pares e controle de qualidade industrial.
- Modular e Personalizável: O sistema é projetado para crescer com as necessidades da sua pesquisa, suportando módulos de controle baseados em PC, sistemas de entrega de gás multicanal e várias configurações de vácuo.
- Eficiência Térmica Superior: A alumina de alta condutividade térmica e o isolamento cerâmico fibroso minimizam a perda de energia e garantem que o calor seja focado exatamente onde é necessário, protegendo componentes externos sensíveis.
Nossa equipe de engenharia está pronta para ajudá-lo a configurar a solução térmica ideal para suas necessidades específicas de deposição ou sublimação. Entre em contato conosco hoje para uma consulta técnica ou uma cotação formal neste sistema avançado de forno de tubo deslizante.
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